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購買AZO、ITO靶材的注意事項

2019-08-14 17:07來源:环亚国际APP下载(北京)新材料科技有限公司作者:环亚国际APP下载(北京)新材料科技有限公司網址:浏覽數:16

購買AZO、ITO靶材的注意事項

1、靶材密度,這個是較主要的,好的靶密度至少達到97%以上,所以大家買回靶來以後可以根據重量體積來計算一下,靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少,低于90%不符合標准。
2、開裂問題,套磁靶很容易開裂,所以大家一定要求用cu的背板,這個是必須的,另外靶材不宜太厚,小于5mm較好了。金屬靶是不大會開裂的,否則它的密度肯定很差。
3、電導率對于AZO,ITO靶材來說非常重要的,買回來可以測測他們的電導率是多少,不同公司用的粉不同,電導率有很大差別,電阻率越小做出來的膜導電性肯定越好。


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